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半導体のイオン注入についてですが、 打込みエネルギーと打込み深さの相関グラフで...(半導体)

2012年01月25日 01時48分

半導体のイオン注入についてですが、 打込みエネルギーと打込み深さの相関グラフで...

半導体のイオン注入についてですが、
打込みエネルギーと打込み深さの相関グラフで
打込み対象Si基板で打込みイオンがボロンです。

横軸が Energy[keV]
縦軸が Rp、dRp[μm]
となっています。
Rpは Range Projection:射出 範囲ですが
dRpが何の略かわかりません。
詳しい人教えて下さい。

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測定したデータを用いて以下のサイト
http://www.nedo.go.jp/itd/teian/ann-mtg/fy16/seikahoukokukai/pdf/c/...

の図9のような図を作りたいと考えています。
もちろん縦軸にEL intensity(a.u)、横軸にwavelenght (nm)にして図を書きたいのですが、上手く書けずにいます。
必要な実験データはあると思います。
作成方法をご存知の方、ご指導をよろしくお願い致します。

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こんなにも差があるのに室温で半導体は熱的励起されるんですか?

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